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電子氣體簡介

氣體工業名詞,半導體工業用的氣體統稱 電子氣體。按其門類可分為 純氣 高純氣 半導體特殊材料氣體三大類。特殊材料氣體主要用于外延,摻雜和蝕刻工藝; 高純氣體主要用作稀釋氣和運載氣。電子氣體是特種氣體的一個重要分支。 電子氣體按純度等級和使用場合,可分為電子級,LSI(大規模集成電路)級,VLSI(超大規模集成電路)級和ULSI(特大規模集成電路)級。


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