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電子氣體簡介

氣體工業(yè)名詞,半導(dǎo)體工業(yè)用的氣體統(tǒng)稱 電子氣體。按其門類可分為 純氣, 高純氣 半導(dǎo)體特殊材料氣體三大類。特殊材料氣體主要用于外延,摻雜和蝕刻工藝; 高純氣體主要用作稀釋氣和運載氣。電子氣體是特種氣體的一個重要分支。 電子氣體按純度等級和使用場合,可分為電子級,LSI(大規(guī)模集成電路)級,VLSI(超大規(guī)模集成電路)級和ULSI(特大規(guī)模集成電路)級。


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