電子特種氣體國產(chǎn)化進程加速
近幾年來，隨著我國超大規(guī)模集成電路、平板顯示器、光伏發(fā)電等產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，電子氣體市場需求量明顯增長，電子特種氣體的國產(chǎn)化已是大勢所趨。記者在不久前召開的全國特種氣體第十四次年會上了解到，我國在國產(chǎn)化方面取得可喜進展：國產(chǎn)高純氨改變了國外氣體公司壟斷市場的格局，高純四氟化碳“有價無貨”時代也宣告結(jié)束，高純氯化氫已成功打開國內(nèi)市場。
高純氨：國內(nèi)企業(yè)將成主力軍
高純氨作為電子工業(yè)中氮化膜的成膜氣體，是化學氣相沉積（CVD）重要的“氮”源。光明化工研究設(shè)計院總工程師孫福楠介紹說，2010年，國產(chǎn)高純氨在太陽能領(lǐng)域發(fā)揮了巨大的作用。由于國產(chǎn)高純氨進入市場，改變了國外氣體公司壟斷市場的局面。
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